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利用Ar^＋离子束轰击混合沉积技术（ion beam mixing）在不锈钢基体上制备在不锈钢和碳钢基体上沉积SiC-C涂层，并然后对样品进行加后热处理热去氩处理（40012／30min），再用5keV的氢离子辐照样品．最后对部分氢离子辐照后的样品进行加热处理（300℃／20min，600℃／20min，900℃／20min），以观察氢在SiC-C涂层中的热稳定性．通过和二次离子质谱仪（SIMS）H元素深度分布和正离子质谱分析，研究氢元素在SiC-C涂层中和在不同基团中的热稳定性后热处理．结果表明，在30