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期刊论文
氧注入制成SOI材料的研究
氧注入制成SOI材料的研究
来源 :山东大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sonim0
【摘 要】
:
采用加热靶和少量氮离子注入制成了 SOI 材料,在1180℃、氮气保护下进行了2小时的退火。离子沟道背散射测量和电子通道花样观测结果表明:加热靶和少量氮离子注入能有效地改善
【作 者】
:
董顺乐
丛培杰
刘家瑞
马瑞芬
【机 构】
:
山东大学物理系,山东大学物理系,中国科学院物理研究所,济南半导体元件实验所
【出 处】
:
山东大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1989年4期
【关键词】
:
离子注入
SOI
沟道
ion implantationSOIchannel
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采用加热靶和少量氮离子注入制成了 SOI 材料,在1180℃、氮气保护下进行了2小时的退火。离子沟道背散射测量和电子通道花样观测结果表明:加热靶和少量氮离子注入能有效地改善顶部硅层的单晶质量.
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