【摘 要】
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本文对结合磁致伸缩效应的新型声表面波电流传感器进行优化设计。传感器采用80MHz声表面波双通道延迟线型差分振荡器，并在传感通道SAW器件表面声传播路径上溅射磁致伸缩薄膜，利
【机 构】
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国家电网公司中国电力科学研究院,中国科学院声学研究所,中国科学院大学
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本文对结合磁致伸缩效应的新型声表面波电流传感器进行优化设计。传感器采用80MHz声表面波双通道延迟线型差分振荡器，并在传感通道SAW器件表面声传播路径上溅射磁致伸缩薄膜，利用薄膜材料在电流激发磁场作用产生的磁致伸缩效应引起声传播速度的变化，并以相应振荡器频率的变化来表征待测电流。通过对不同磁致伸缩材料(FeCo和FeNi)以及薄膜厚度的传感效应进行分析，用以为传感器的优化设计提供思路，并通过实验进行验证，实验结果显示，相对于FeCo而言，采用FeNi作为敏感材料的电流传感器具有良好的重现性、线性度以及较高
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