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声表面波（SAW）加速度传感器的精度高，具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需要，对SAW加速度传感器中所采用的压膜阻尼进行了理论分析，并采用机电等效模拟技术对微间隙压膜阻尼进行了仿真，取得了较好的效果。这种分析方法同样适用于其他类型的传感器。