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NTDCZSi中与氧有关的PL谱
NTDCZSi中与氧有关的PL谱
来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yfzzx
【摘 要】
:
中子嬗变掺杂直拉硅单晶在1050-1100℃6h退火时,体内产生以较大辐照缺陷为核心的氧沉淀和衍生的二次缺陷。光致发光在0.76-1.000eV范围出现了PL峰,而非中照的CZSi在相同条件下退火却滑以检测出明显的PL峰。
【作 者】
:
张维连
闫书霞
【机 构】
:
河北工业大学材料研究中心,河北工业大学材料研究中心天津300310,天津300310,天津300310
【出 处】
:
半导体杂志
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
中子嬗变掺杂
直拉硅
光致发光
二次缺陷
Neutron transmutation doping (NTD)
CZSi
PL
Secondary def
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目
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中子嬗变掺杂直拉硅单晶在1050-1100℃6h退火时,体内产生以较大辐照缺陷为核心的氧沉淀和衍生的二次缺陷。光致发光在0.76-1.000eV范围出现了PL峰,而非中照的CZSi在相同条件下退火却滑以检测出明显的PL峰。
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