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利用部分补偿透镜进行非球面面形测量
利用部分补偿透镜进行非球面面形测量
来源 :北京理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jbwjbw
【摘 要】
:
提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补
【作 者】
:
刘惠兰
郝群
朱秋东
沙定国
【机 构】
:
北京理工大学
【出 处】
:
北京理工大学学报
【发表日期】
:
2004年7期
【关键词】
:
部分补偿透镜
非球面测量
法线像差
干涉术
part-compensating lens aspheric surface testing normal abe
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提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透镜补偿不同相对孔径和非球面度的非球面.测量精度可达到λ/10.
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