基于嵌入式Linux的晶体生长控径系统的研究

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针对直径检测及控制技术向大直径化硅棒发展的需求,设计一种低成本.功能适中的晶体生长控径系统。该系统以ARM9系列的S3C2440为核心,基于Linux嵌入式操作系统设计一种图像处理方法,根据亚像素原理计算出硅棒直径,并为上位机提供具有特定电平的模拟信号,从而控制直拉单晶硅生长速度,使系统实现测量数据可读化。实验表明,该系统能够很好地解决图像处理问题,图像处理的准确率满足直径检测系统的要求,且实现简单,成本较低.特别适合于对精度要求较严格的检测系统。
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