基于原子光谱Stark展宽高压放电等离子体电子密度计算

来源 :中国电机工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoyawxh
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原子光谱Stark展宽法是计算等离子体电子密度最主要的方法之一。然而,该方法计算步骤复杂、参量繁多,常常使用简化方法进行计算,显著影响电子密度的计算结果。本文将基于Stark展宽原理设计和开发等离子体电子密度分析程序,结合复误差函数从Voigt线型提取Gaussian展宽和Lorentzian展宽,并通过NIST原子光谱数据库和相关文献计算获得多种谱线展宽,得到Stark展宽从而估算等离子体电子密度,提升从发射光谱获得等离子体关键参数的分析速度和精度。分别以微波等离子体射流、脉冲介质阻挡放电和脉冲火花放电的原子光谱实例分析等离子体电子密度,电子密度分别为1014、1015和1017 cm-3数量级。通过不同原子光谱的交叉验证和误差分析,证明了本方法能够更精确地估算等离子体的电子密度。
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