陶瓷金属化中的化学反应及热力学考虑

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微电子技术中基板的金属化是为安装IC芯片和布线,应用较广泛的金属化方法是厚膜技术。厚膜金属化是一个复杂的物理化学过程,厚的附着主要通过玻璃结合和反应结合两种方法来实现,要提高厚膜的附着力和电性能等。必须考虑化学反应的热力学,选择合适的导体浆料,主要是玻璃料和活性粘合剂,有效地控制金属化层与陶瓷的界面,玻璃结合与反应结合是提高厚膜质量的有效手段。
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