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Stress relaxation of Si/Si_(1-x)Ge_x/Si structure prepared by ion implantation and subsequent anneal
Stress relaxation of Si/Si_(1-x)Ge_x/Si structure prepared by ion implantation and subsequent anneal
来源 :稀有金属:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiuluoyanyu1986
【摘 要】
:
74Ge+-implanted (100 ) 的压力松驰硅晶片被调查。是的培植精力 Si/Si1 的功能 ? x Ge x /Si 结构 fluence 并且二种热退火被报导。在热退火以后的压力和压力松驰根据拉曼分
【作 者】
:
XU Wenting
TU Hailing
CHANG Qi
【机 构】
:
GeneralResearchInstituteforNonferrousMetals,GRINMSemiconductorMaterialsCo.Ltd.
【出 处】
:
稀有金属:英文版
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
应力松弛
退火工艺
离子注入
结构
SI
制备
注入能量
能量密度
silicon wafers stress stress relaxation ion im
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74Ge+-implanted (100 ) 的压力松驰硅晶片被调查。是的培植精力 Si/Si1 的功能 ? x Ge x /Si 结构 fluence 并且二种热退火被报导。在热退火以后的压力和压力松驰根据拉曼分析被计算,并且与从处女 Si 的计算获得的那些相比。
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