【摘 要】
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分析了电容传感器的基本原理，推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型，组建了电容传感微孔测量系统。研究了Ф3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法．所制作的测孔
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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分析了电容传感器的基本原理，推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型，组建了电容传感微孔测量系统。研究了Ф3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法．所制作的测孔传感器经标定后，测量分辨率达到0．01μm．该测量系统操作简单，可通过USB接口、结合测量软件在计算机上直接读出微小孔的内径值。
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