【摘 要】
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通过变深度纳米划痕实验对KDP的断裂特性进行了研究,测量了在KDP晶体（001）晶面上沿不同方向进行划痕实验时首条裂纹出现的位置。随后建立了该划痕过程的有限元模型,计算得到了
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,成都精密光学工程研究中心
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通过变深度纳米划痕实验对KDP的断裂特性进行了研究,测量了在KDP晶体（001）晶面上沿不同方向进行划痕实验时首条裂纹出现的位置。随后建立了该划痕过程的有限元模型,计算得到了导致KDP晶体沿不同方向发生断裂时的拉应力,并解释了划痕实验中出现微裂纹和崩坑的原因。结果表明,在KDP晶体（001）晶面上沿0°方向加工时材料最容易发生断裂,对应的拉应力为107 MPa;而沿45°方向时材料表现出较好的可加工性能,此时导致KDP晶体发生断裂的拉应力为160 MPa。
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