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基于混合式自调整模糊控制的单晶炉提拉速度控制系统
基于混合式自调整模糊控制的单晶炉提拉速度控制系统
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shuzhong12miyan
【摘 要】
:
采用自调整因子混合式模糊PID控制方法,对单晶炉的提拉速度进行控制.工程实际运行表明,该方法不仅能够提高系统的鲁棒性,还可以提高系统的动静态性能,获得了满意的控制效果.
【作 者】
:
赵葵银
胡俊达
吴俊
【机 构】
:
湖南工程学院,湘潭大学
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
单晶炉
提拉速度
自调整模糊控制器
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采用自调整因子混合式模糊PID控制方法,对单晶炉的提拉速度进行控制.工程实际运行表明,该方法不仅能够提高系统的鲁棒性,还可以提高系统的动静态性能,获得了满意的控制效果.
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