水平式MOCVD系统生长速度均匀性的研究

来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yilongzhanyuye1
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本文讨论了影响生长速度的因素,如主载气流量、金属有机源流量(在一定蒸气压下),衬底放置位置,及掺杂和非掺杂情况等.对实验结果进行了计论,并与其它文献进行了比较.着重阐述了改善侧向均匀性问题.
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