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热壁外延
热壁外延
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:agz100
【摘 要】
:
本文介绍了热壁外延的原理、实验装置和应用更多还原
【作 者】
:
杨玉琨
孟庆巨
【机 构】
:
吉林大学分析测试实验中心,吉林大学分析测试实验中心
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1990年8期
【关键词】
:
热壁外延
气相外延技术
单晶
外延
【基金项目】
:
国家高技术计划新概念、新构思探索研究资助项目
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本文介绍了热壁外延的原理、实验装置和应用更多还原
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