【摘 要】
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一块晶片的短路缺陷部分可形成红外发射源。晶片中线路部分的红外图象会通过负荷电流产生热量。用红外探测器透镜和开关可以探测到与此电流相对应的外加电压,从而获得缺陷位
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一块晶片的短路缺陷部分可形成红外发射源。晶片中线路部分的红外图象会通过负荷电流产生热量。用红外探测器透镜和开关可以探测到与此电流相对应的外加电压,从而获得缺陷位置和电阻值。
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