【摘 要】
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利用硅微细加工工艺制作出热致动微型泵， 该泵采用薄膜型准对称结构设计及双面双金属驱动方式， 它具有体积较小、工艺简单、易于集成， 效率高和流量较大等特点
The use of sili
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系!北京100084,清华大学精密仪器与机械学系!北京100084,清华大学精密仪器与机械学系!北京100084
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利用硅微细加工工艺制作出热致动微型泵， 该泵采用薄膜型准对称结构设计及双面双金属驱动方式， 它具有体积较小、工艺简单、易于集成， 效率高和流量较大等特点
The use of silicon microfabrication process to create a thermally actuated micro-pump, the pump uses a membrane quasi-symmetrical structure design and double-sided bimetallic drive mode, which has a smaller, simple process, easy integration, high efficiency and flow characteristics
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