【摘 要】
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为解决半导体制造设备的维护调度问题,提出基于马尔可夫决策过程（MDP）的制造设备两层维护优化模型。设备层利用马尔可夫决策过程（MDP）模型,同时考虑劣化故障和随机故障两种故障类
【机 构】
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北京化工大学信息科学与技术学院北京100029
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为解决半导体制造设备的维护调度问题,提出基于马尔可夫决策过程（MDP）的制造设备两层维护优化模型。设备层利用马尔可夫决策过程（MDP）模型,同时考虑劣化故障和随机故障两种故障类型,制定针对单台设备的工件排序、清洗和维修的长期维护优化策略,系统层采用遗传算法解决有限维护资源下短期维修调度方案,尽可能降低由设备故障所导致的生产损失。最后以某半导体生产线为例利用eM-Plant软件进行仿真验证,结果表明,该维护策略能更好的提高系统性能。
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