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以市售大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经酸腐蚀为去钴、研磨和还原处理后，以氢气和丙酮为原料，用穿孔直拉热丝ＣＶＤ法制备了金刚石涂层。利用扫描电镜和喇曼谱图对涂层均匀性进行了评估。初步应用试验表明，金刚石涂层的附着力满足实际拉伸要求，涂层拉丝模的工作寿命可提高３－５倍。
CVD金刚石涂层拉丝模的研制与应用
【摘 要】
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以市售大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经酸腐蚀为去钴、研磨和还原处理后，以氢气和丙酮为原料，用穿孔直拉热丝ＣＶＤ法制备了金刚石涂层。利用扫描电镜和喇曼谱图对涂层均匀性进行了评估
【机 构】
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上海交通大学微电子技术研究所
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家 8 63计划新材料领域资助项目!(项目编号 :7150 0 20 0 10 )
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