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期刊论文
溶胶凝胶法制备的ZnO气敏薄膜
溶胶凝胶法制备的ZnO气敏薄膜
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ljzhangxy
【摘 要】
:
Zn(CH_3COO)_2通过溶胶凝胶法(Sol-Gel)被制备成粒度分布均匀的ZnO气敏薄膜,固有构参数已被确定。通过XRD(X射线衍射仪)和TEM(透射电镜)的分析结果,确认膜为ZnO多晶材料,并且
【作 者】
:
潘素瑛
梅森
【机 构】
:
武汉工业大学,武汉工业大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1993年3期
【关键词】
:
溶胶凝胶法
氧化锌
气敏材料
薄膜
Sol -Gel ZnO Gas-sensitive film
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Zn(CH_3COO)_2通过溶胶凝胶法(Sol-Gel)被制备成粒度分布均匀的ZnO气敏薄膜,固有构参数已被确定。通过XRD(X射线衍射仪)和TEM(透射电镜)的分析结果,确认膜为ZnO多晶材料,并且利用高阻计测试了在不同气氛中试件的气体灵敏度。
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