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由MEMS技术制备的持气审温红外探测器的噪声主要包括温度噪声、机械热噪声和背景噪声。从理论上建立了器件的基本热模型,推导得到器件的等效热熔和等效热导分别为8.1μJ/K和1.0×10^3W/K,温度噪声约为1.73×10^-10W/Hz^1/2;通过器件的工作机理和能量均分原理,推导得到热机械噪声的等效噪声功率约为9.96×10^-9W/Hz^1/2,器件的背景噪声约为3.22×10^-11W/Hz^1/2,从而得出器件的归一化探测率约为9.03×10^6