【摘 要】
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本文回顾我们在 GaAs 和硅的单片集成(MGS)方面的最新进展。这种技术最终将允许在廉价的硅衬底上制造 GaAs 太阳电池,以及为了获得十分优良的两种材料体系的互补性能而在同一
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本文回顾我们在 GaAs 和硅的单片集成(MGS)方面的最新进展。这种技术最终将允许在廉价的硅衬底上制造 GaAs 太阳电池,以及为了获得十分优良的两种材料体系的互补性能而在同一个片子上集成硅和 GaAs 器件。我们首先讨论硅衬底上的 GaAs 太阳电池的结果。其次叙述在 MGS 片上有关 GaAs MESFET 和 AlGaAs 二极管激光器制造的初步结果。
This article reviews our recent advances in monolithic integration of GaAs and silicon (MGS). This technology will eventually allow the fabrication of GaAs solar cells on inexpensive silicon substrates and the integration of silicon and GaAs devices on the same wafer in order to achieve the very good complementarity of the two material systems. We first discuss the results of GaAs solar cells on silicon substrates. Next is a description of the preliminary results on the MGS chip for the fabrication of GaAs MESFETs and AlGaAs diode lasers.
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