【摘 要】
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提出一种剪切干涉测量中被测波前重建的新方法.该方法基于Zernike多项式最小二乘拟合的基本原理,通过自适应的方式来确定波前重建表达式.推导出剪切相位Zernike多项式系数与
【机 构】
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香港科技大学机械工程系,香港科技大学机械工程系,中原大学机械工程系,华中科技大学机械科学与工程学院仪器系
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提出一种剪切干涉测量中被测波前重建的新方法.该方法基于Zernike多项式最小二乘拟合的基本原理,通过自适应的方式来确定波前重建表达式.推导出剪切相位Zernike多项式系数与被测波前Zernike多项式系数的直接转换矩阵,提出了自适应确定多项式级次的新算法,给出了相应的波前重建数学模型.对算法进行了计算机模拟,并应用于实际剪切干涉测量,结果证明该方法具有可靠的波前重建精度.
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