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期刊论文
微电子工艺中的清洗技术现状与展望
微电子工艺中的清洗技术现状与展望
来源 :电子技术与软件工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangjj167
【摘 要】
:
本文通过介绍微电子清洗技术对当前微电子行业发展的重要性,并在分析微电子清洗技术的原理、现状的基础上,对未来微电子清洗技术的发展提出了些许建议。
【作 者】
:
温晓霞
【机 构】
:
广东海洋大学寸金学院
【出 处】
:
电子技术与软件工程
【发表日期】
:
2015年05期
【关键词】
:
微电子
工艺
清洗技术
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本文通过介绍微电子清洗技术对当前微电子行业发展的重要性,并在分析微电子清洗技术的原理、现状的基础上,对未来微电子清洗技术的发展提出了些许建议。
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