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我们进行了在半球形蓝宝石图形衬底上生长Ga N材料以及LED器件结构的研究。根据生长Ga N的生长过程,优化了半球状蓝宝石图形衬底上生长Ga N材料时三维生长的晶粒厚度。证实了半球状图形衬底上生长的Ga N材料晶体质量的提高,验证了其发光效率的改善是可以通过改善光提取效率来实现的。
蓝宝石衬底上的GaN外延生长材料研究
【摘 要】
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我们进行了在半球形蓝宝石图形衬底上生长Ga N材料以及LED器件结构的研究。根据生长Ga N的生长过程,优化了半球状蓝宝石图形衬底上生长Ga N材料时三维生长的晶粒厚度。证实了
【机 构】
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厦门技师学院,
【出 处】
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福建质量管理
【发表日期】
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2015年11期
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