IFVM、VFIM直流参数测试系统

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ylycxr
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在集成电路测试中,直流参数的测试是必不可少的。反映集成电路基本性能的参数无非是各种电压和电流,例如,功耗电流、输入端的入、出漏电流,输出端漏电流,阈值电压、输出高、低电平以及负载能力等等。总之,不是加一定的电压测电流,就是加一定的电流测电压。传统的电压、电流测量方法很多。随着集成电路的迅速发展,对测试精度和可靠性的要求也越来越高。为了降低测试成本,传统的电压电流测试方法已不能适应。特別在七十年代以后,测试技术得到了迅速发展,各种测试 In the IC test, the DC parameters of the test is essential. The parameters that reflect the basic performance of an integrated circuit are nothing more than voltage and current, such as power consumption current, input and output leakage current, output leakage current, threshold voltage, output high, low and load capacity. In short, not to add a certain voltage measurement current, is to add a certain current measurement voltage. Traditional voltage and current measurement methods are many. With the rapid development of integrated circuits, the requirements for testing accuracy and reliability are also getting higher and higher. In order to reduce test costs, the traditional voltage and current test methods can not adapt. Especially in the seventies, test technology has been rapid development, a variety of tests
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