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详细介绍了软X射线多层膜光栅的国内外发展概况和广阔的应用领域,全面分析了它的制作工艺,并指出制作多层膜光栅的关键技术及解决方案.
软X射线多层膜光栅
【摘 要】
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详细介绍了软X射线多层膜光栅的国内外发展概况和广阔的应用领域,全面分析了它的制作工艺,并指出制作多层膜光栅的关键技术及解决方案.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2004年2期
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