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本文根据表面轮廓调制原理，采用计算机控制的单模光纤探针扫描技术及相应的信号处理电路，提出了智能化光纤探针式轮廓仪。文中对仪器构成原理的有关理论基础及关键技术进行了介绍，最后利用本测量技术进行了实验测量，给出了实验结果及误差分析。
单模光纤探针粗糙度测量技术的研究
【摘 要】
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本文根据表面轮廓调制原理，采用计算机控制的单模光纤探针扫描技术及相应的信号处理电路，提出了智能化光纤探针式轮廓仪。文中对仪器构成原理的有关理论基础及关键技术进行了介
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院,天津300072
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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1999年1期
【基金项目】
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国家自然基金!59875065
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