【摘 要】
：
采用直流反应磁控溅射法在Si（111）基片上制备了AlN薄膜,利用XRD、原子力显微镜（AFM）、电流-电压（I-V）测试仪等对不同衬底下制备薄膜的结构、形貌及电阻率等进行了分析表征。结果表
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,中国电子科技集团公司第26研究所
论文部分内容阅读
采用直流反应磁控溅射法在Si（111）基片上制备了AlN薄膜,利用XRD、原子力显微镜（AFM）、电流-电压（I-V）测试仪等对不同衬底下制备薄膜的结构、形貌及电阻率等进行了分析表征。结果表明：随着衬底温度的升高,晶粒逐渐长大,AlN（002）择优取向明显改善,600℃达到最佳。一定范围内提高温度使晶粒均匀、致密,有利于改善表面粗糙情况和提高电阻率,550℃时表面粗糙度达到最低（2.8 nm）且有最大的电阻率（3.35×1012Ω.cm）;同时薄膜应力随温度升高有增大趋势。
其他文献
进一步厘清行业协会公私冲突的根源,在非营利化与市场化、民营化的互动基础之上,重新拷问中国的行业体制改革的路径选择,才能实现行业管理的善治。
论述了超磁致伸缩材料在电液控制元件中的应用研究现状,基于超磁致伸缩材料的特点和未来航空航天领域对高频大流量伺服阀的迫切需求,提出了一种由超磁致伸缩执行器驱动的新型
为了得到低烧结温度、较低室温电阻率的BaTiO3基半导体陶瓷，提出在BaO—B2O3-SiO2—MnO烧结助剂中加入LiF的方法，研究了BaO—B2O3-SiO2MnO—LiF（BBSML）烧结助剂对Y^3＋与Nb^5＋双掺杂
提出了一种新型高位移性能的球冠钹型（Spherical—Cymbal）压电复合换能器。Spherical—Cymbal换能器由厚度方向极化的压电陶瓷薄圆片夹持在两个球形金属端帽间制成，每个金属端帽
采用传统固相法制备了无铅压电陶瓷Bi0.5（Na0.825K0.175）0.5TiO3＋x%Ag2O（BNKTA-x,质量分数x=0,0.1,0.3,0.5,0.7,1.0,1.5）,利用XRD、SEM等测试技术分析表征了该体系陶瓷的结构、压
肺部并发症在围手术期老年患者中常见,它不仅增加了手术的危险性,还直接影响患者术后恢复.老年患者外科术后呼吸系统并发症为12%～46%.Bamett等亦发现,70岁以上老年患者手术死
患者男性,53岁.因反复低热、浮肿4个月,加重10 d,于2000年5月31日入我院.查体:T 37.7℃,P 80次/min,Bp 12.0 kPa/9.3 kPa.颜面及双眼睑浮肿,肝颈回流征(+).两肺呼吸音粗,心音
设计了膜式液压放大机构,具有机构简单、放大倍数大的优点,同时解决了密封难,制造成本高的问题。对于单晶片主动式放大阀压电泵,通过实验测试了频率-流量特性和电压-流量特性
超声传感器阵列指向性决定了参量阵扬声器再现音频指向性的性能。提高超声发射阵的指向性也是实现高指向性低频声波的关键技术之一。基于阵列指向性基本理论及与线列阵组合平
提出了一种高精度、低量程隧道陀螺仪的新结构,分析了其结构及工作原理;对陀螺进行了必要的仿真,仿真结果与理论推导相接近,这样就实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测