论文部分内容阅读
针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统。硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出板卡组成。在此硬件基础上根据工艺要求设计控温软件的结构与算法，改进了PID参数整定算法，引入了轨迹规划算法，完成了多段炉体的控温、斜变升温、PID参数整定和自动温区分布。实验表明，在此系统控制下，炉体能够达到高温氧化扩散工艺的需求，并且系统的扩展性、稳定性、精确性等方面得到了提高。此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备。