【摘 要】
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掠入射X射线反射（GIXR）是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合
【机 构】
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长春理工大学理学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、光学系统先进制造技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金项目（61405189）, 吉林省科技发展计划项目（20150101019JC,20170312024ZG）
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掠入射X射线反射（GIXR）是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合精度差的问题,本文将云模型与量子进化算法相结合,提出了一种基于云模型量子进化算法（CQEA）的薄膜微观结构表征方法,并将该算法应用于Si单层膜和周期极紫外Mo/Si多层膜的表征之中,并将其拟合结果与基于进化算法的拟合结果进行对比。分析表明,CQEA具有种群规模小、收敛速度快和拟合精度高的优势,同时给出的薄膜结构参数值精度更高。相关研究工作
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