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应用偏靶射频磁控溅射方法在SrTiO3（001）单晶衬底上制备了三重价态（Mn3＋,Mn4＋,Mn5＋）锰氧化物薄膜La1-x-yCaxKyMnO3.这种薄膜具有钙钛矿结构,A位拥有La3＋,Ca2＋和K＋三种离子,对应的B位为Mn3＋,Mn4＋和Mn5＋三重价态离子共存.通过18kW高能X射线衍射仪和D8X射线面探衍射仪检测证实制备的薄膜为取向多晶薄膜.原子力扫描图像显示薄膜表面平整,且随薄膜厚度增加表面平整度起伏增大.表面光电压测试显示,该薄膜具有明显的光生电压信号.