电极对PZT铁电薄膜的微观结构和电性能的影响

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：iammycsj

【摘要】

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采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜.研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响.(100)择优取

【作者】

：

杜文娟陆维郑萍孟中岩

【机构】

：

上海大学材料与工程学院

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

PZT 铁电薄膜微观结构电性能电极疲劳锆钛酸铅 PZT thin films LNO electrode electric properties po

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采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜.研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响.(100)择优取向的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲劳特性和漏电流特性方面都有了很大提高.PZT/LNO薄膜1010次极化反转后剩余极化几乎保持未变,直至1012次反转后,剩余极化仅下降了17%.

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