平面光电器件的纳米级高速研磨

来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mt156
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论文探讨了采用固着磨料高速研磨进行纳米级加工的有关问题.采用固着磨料高速研磨加工技术加工光电器件,使工件已加工表面粗糙度达Ra2.88nm, 平面度达19nm,不仅实现了纳米级加工,而且还实现了高效率、低成本加工.
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