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通过自行设计的冷等离子体粉粒纯化系统，将硅粉撒进辉光放电区，以Ar气为反应气体，利用鞘层区域辉光放电的冷等离子体对硅粉料的作用，进行一系列的处理后，硅粉表面形貌平整度明显提高，纯度从98．75％提高到99．56％。在此基础上，设计射频感应放电等离子体的振动倾斜反应室，经实验，将硅粉纯度提高到99．96％，接近太阳级硅的要求，也为该研究未来的发展提供了新的思路和理论参考。