【摘 要】
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介绍了一种白光干涉型Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ位移传感器。Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪的一臂由光纤Ｆ－Ｐ腔构成，作为传感头；另一臂由电磁位移器带动的反射镜构成，提供相位补偿。理论分析和实验结果表明，在１５０μｍ的动态范围内，该传感器
【机 构】
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清华大学电子工程系,中国计量科学研究院
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介绍了一种白光干涉型Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ位移传感器。Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪的一臂由光纤Ｆ－Ｐ腔构成，作为传感头；另一臂由电磁位移器带动的反射镜构成，提供相位补偿。理论分析和实验结果表明，在１５０μｍ的动态范围内，该传感器的位移测量重复性（２σ）达到０５μｍ，测量不确定度为１５μｍ。本文还提供了进一步提高测量精度和响应速度的方法
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