单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光

来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuyueguangxuan
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为揭示抛光过程中SiO_2磨粒与蓝宝石的摩擦化学反应机理,结合摩擦化学理论和纳米压痕试验方法,采用有限元法模拟纳米压头压入与卸载后蓝宝石表面的应力分布情况.数值模拟结果表明:当SiO_2磨粒与蓝宝石的接触应力为5-15GPa时,发生固相反应所需活化能约为14.46kJ/mol,反应速率常数约为0.07-0.23μm/min;在摩擦化学反应过程中,SiO_2磨粒与蓝宝石的接触半径为15-21nm,其变形量为6.88-10.22nm.低载荷纳米压痕试验结果表明:忽略压头与SiO_2磨粒的硬度、几何形状等影响因
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