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复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试

来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gujianjia

【摘 要】

：

为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题，引入了复合热释电薄膜的概念．它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点，有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散．利用溶胶-凝胶和金

【作 者】

：

王三红 吴小清 姚熹 

【机 构】

：

西安交通大学电子与信息工程学院

【出 处】

：

西安交通大学学报

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

：

红外探测器 复合热释电薄膜 溶胶-凝胶 电压响应率 星探测率 Multilayers Pyroelectricity Sol gels Thermal insu 

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为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题，引入了复合热释电薄膜的概念．它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点，有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散．利用溶胶-凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器，在温度为420K、频率为10Hz时，电压响应率约为1400V／W，探测器的星探测率D（420，10，2）为9.3×107cm.Hz1／2／W．

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