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介绍一种新型高精密长度测量仪。使用一个光学自动聚焦头和一个无齿隙机械传动机构,其分辨力可达0.1μm;在40mm 测量范围内,其绝对准确度优于1μm。由于具有自动聚焦特性,它还能在线识别表面倾角和表面曲率。
在线精密测量用新型光电仪
【摘 要】
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介绍一种新型高精密长度测量仪。使用一个光学自动聚焦头和一个无齿隙机械传动机构,其分辨力可达0.1μm;在40mm 测量范围内,其绝对准确度优于1μm。由于具有自动聚焦特性,它
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1991年4期
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