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本文在论述图像放大技术在计算机芯片检测中的重要性基础上,提出基于非均匀有理B样条(NURBS)自由曲面的数字图像插值放大方法,通过像素点位置坐标灰度值建立三维坐标系以及NURBS曲面,确定新插入点的像素灰度值从而获得放大图像。理论研究与实验结果表明,此方法能够获得稳定清晰的IC芯片表面特征放大数字图像,以便用于后续的图像研究处理工作。