LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：durrenchen

【摘要】

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利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区.用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs

【作者】

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吕衍秋乔辉韩冰唐恒敬吴小利李雪龚海梅

【机构】

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中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100039

【出处】

：

红外与激光工程

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

激光诱导电流技术 InGaAs 探测器串音光敏感区

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利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区.用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器.测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,扩大了有效光敏感区.

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