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射频离解烃方法制备了适用于作软磁盘保护层的类金刚石碳膜。在基本不影响盘原有电磁特性前提下，保护膜兼备良好的耐磨、抗高温高湿和防霉等功能。
类金刚石碳膜—软磁盘保护膜的性能
【摘 要】
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射频离解烃方法制备了适用于作软磁盘保护层的类金刚石碳膜。在基本不影响盘原有电磁特性前提下，保护膜兼备良好的耐磨、抗高温高湿和防霉等功能。
【机 构】
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中国科学院成都有机化学研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金,中科院兰州化学物理所固体润滑开放研究实验室资助
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