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采用光线追踪和光路函数的方法,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领.波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为4-45nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力(λ/△λ>1000)和空间分辨能力(优于40μm).