【摘 要】
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提出一种用电涡流传感器实现无损在线测量工件金属膜厚度的方法。给电涡流传感器同时施加３种不同频率的激励信号， 通过传感器与各层金属膜所感应的电涡流密度， 可以间接获得２ 层
【机 构】
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西安理工大学自动化与信息工程学院!陕西西安710048
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提出一种用电涡流传感器实现无损在线测量工件金属膜厚度的方法。给电涡流传感器同时施加３种不同频率的激励信号， 通过传感器与各层金属膜所感应的电涡流密度， 可以间接获得２ 层不同材料的金属膜厚度， 同时还可获得传感器与表层被测工件表面的距离。理论分析和实验结果表明了这种方法的可行性
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