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比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点，提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法，利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEACO2激光器增透膜，其透射率高于99．5％，且具有良好的稳定性和重复性。
用复合监控法镀制的TEA CO2激光器增透膜
【摘 要】
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比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点，提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法，利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEACO2激
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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光学与光电技术
【发表日期】
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2007年1期
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