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采用脉冲熔融红外吸收法测定钽、钨涂层中氧的质量分数。着重讨论了分析功率、助熔剂种类、坩埚类型、空白值及样品质量对测定结果的影响,制定出了钽、钨涂层中微量氧的分析方法。结果表明,钽、钨涂层试样中氧的质量分数的相对标准偏差分别为2.94%,6.01%(n=6),回收率分别为93%-108%和92%-108%。