TiN coating on wall of holes and stitches by pulsed DC plasma enhanced CVD

来源 :Transactions of Nonferrous Metals Society of China | 被引量 : 0次 | 上传用户：punk123456

【摘要】

：

TiN coating samples with narrow-stitch or deep-hole of different sizes and real dies with complex shape were processed by a larger-scale pulsed plasma enhanced

【作者】

：

马胜利徐可为介万奇

【机构】

：

StateKeyLaboratoryforMechanicalBehaviorofMaterials,StateKeyLaboratoryforMechanicalBehaviorofMaterial

【出处】

：

Transactions of Nonferrous Metals Society of China

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

氮化钛涂层 CVD 等离子喷涂 PECVD pulsed DC plasma moulds PECVD TiN coatings

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TiN coating samples with narrow-stitch or deep-hole of different sizes and real dies with complex shape were processed by a larger-scale pulsed plasma enhanced CVD(PECVD) reactor. Scanning electron microscopy, optical microscopy, Vicker's hardness and

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