【摘 要】
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MoOx材料因其较低的反射率,在窄边框液晶显示技术等领域是一种理想的材料。本文利用磁控溅射法在玻璃基板上制备MoOx薄膜,并在MoOx薄膜上沉积不同的金属层,采用不同的方法研
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MoOx材料因其较低的反射率,在窄边框液晶显示技术等领域是一种理想的材料。本文利用磁控溅射法在玻璃基板上制备MoOx薄膜,并在MoOx薄膜上沉积不同的金属层,采用不同的方法研究MoOx薄膜及其搭配金属层的特性。测试结果表明MoOx和玻璃基板的粘附性较好,无须打底膜可在玻璃基板上直接沉积;MoOx和Al及Cu的粘附效果优于Mo及MTD等Mo合金;MoOx薄膜的方块电阻值较大,搭配金属层时可忽略不计;MoOx厚度对搭配金属膜的反射率及色差影响很大,而金属层厚度影响较小。对于采用MoOx作低反材料的工艺,可以根
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