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针对金属材料表面形貌检测问题.论文设计制作了一种高空间分辨力的电涡流传感器,可实现金属管道内壁复杂表面形貌及裂纹的高分辨检测。论文采用ANSYS有限元分析软件对传感器进行了仿真分析,验证了传感器对金属材料表面形貌变化的高空间分辨检测能力。论文同时对该种传感器性能进行了实验测试。实验结果表明,相比传统的电涡流传感器,本文设计的传感器对裂纹、对金属材料表面形貌变化具有更高的检测分辨力。最后,论文采用三维可视化技术,将传感器对金属板表面形貌的扫描检测数据转化成三维图像,可直观地显示出被测金属板表面形貌变化及裂纹