碳化硅超高温合成炉深部温度测试技术研究

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利用红外线测温仪及示性物质Al2O3、ZrO2分别对热源温度及对炉内某些特定部位的温度进行了直接测量,通过数值模拟对炉内温度变化进行了预测。研究结果表明,示性物质测温法为温度测量提供了一种新的参考方法,是红外线测温仪测温的有益补充;数值模拟合成炉温度场能够对炉内整体温度进行预测。表面负荷一定条件下,热源温度线性增加到一定温度以后基本保持不变。测试结果表明,碳化硅分解温度在2600~2700℃之间。
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